正压方法是首先用一种以上的---压---气或---气的混合气体填充压力容器装置。在压力容器装置的外部检测中，泄漏孔泄漏到外部---气中，然后找到泄漏孔。当用抽吸搜索---气时，一旦---气被吸入，---气检漏设备将显示泄漏率值。在这种情况下，由于压力容器装置的外部是一个---压，充入压力容器装置的气压需要至少一个---压或更多个---压。然而，压力不应太高。如果压力过高，插入设备的压力表或其他插件会弹出，造成伤害和其他危险事故。

三、---罩法

在这种方法中，用塑料薄膜包裹被测容器，首先除去罩子中的空气，然后充入---气或---气混合气体，检漏仪与被测容器的内部连接，当检漏仪显示泄漏率时，指示泄漏。这个泄漏率称为总泄漏率。总泄漏率是所有泄漏率的总和。如果总泄漏率不超过标准值，则每个泄漏率不超过标准值；如果总泄漏率超过标准值，检查每个点的泄漏率是否超过标准值。然后调整修改超过标准值的泄漏孔，直至达到合格标准。

---质谱检漏仪的基本原理与结构

随着科技的迅猛发展，---质谱检仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的---质谱检涮仪，广泛应用丁航空航天，电力电子，汽车等各个行业，综观较新---质谱检漏仪的性能特点发现，---质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等方向发展，这些特点---地满足了当前检漏应用的需求，也---的推动了氮质谱检漏技术的不断发展。---质谱检漏仪的基本原理与结构---质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束，以一定能量注入质分析器，

目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。

离子检测器的作用是手机分析器所选定的---离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率

真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和---气的引入。真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的---质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，---气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，已成为市场的主流的产品。

机械泵的工作方式不一样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。

以上内容由科仪为您提供服务，希望对同行业的朋友有所帮助。

---质谱检漏仪行业应用

质谱仪又称质谱计。分离和检测不同同位素的仪器。即根据带电粒子在电磁场中能够偏转的原理，按物质原子、分子或分子碎片的差异进行分离和检测物质组成的一类仪器。质谱仪按应用范围分为同位素质谱仪、无机质谱仪和有机质谱仪。按分辨本领分为高分辨、中分辨和低分辨质谱仪；按工作原理分为静态仪器和动态仪器。

---气，是一种稀有气体，英文名为helium，元素符号为he，原子序数2。为无色无味的惰性气体，化学性质不活泼，一般状态下很难和其它物质发生反应。常温下，---气是一种极轻的无色、无臭、无味的单原子气体。是所有气体中难液化的，是不能在标准---压下固化的物质。液化后温度降至2.174k时，具有表面张力很小、导热性很强、黏度极低等特殊性质。利用液态---可以得到接近零度的低温

---质谱检漏仪helium mass spectrometerleakdetector为气体工业名词术语，用---气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测---气而进行检漏的质谱仪。---气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，---系惰性气体，智能检漏回收系统，不腐蚀设备，故常用---作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪调整到仅对---气反应的工作状态的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

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