---质谱检漏仪实际上可以说是一个检---仪，通过检测---气的含量来确定是否有泄漏。而对---的检测则使用的是质谱仪，是只检测---的质谱仪，这种质谱仪将其它数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作，需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下，空气的流动才体现为分子流，质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。

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---气

---气穿透能力强，且易，对漏点有---的检出能力，柜---测漏系统，可让细微小洞无处可逃。---气检漏就是采用---气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为---原子的尺寸很小。用---气穿过小洞而进入到管壳内部，---气检漏方法能够检测出尺寸很小的小洞，灵敏度可与性检漏方法---，但要比性检漏方法简便。---气检漏方法：首先把封装好的元器件放入充满---气的容器中，并加压，让---气通过小洞而进入管壳中；然后取出，并用压缩空气吹去管壳表面的残留---气；接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的---气。

氢气系统的组成

氢冷系统主要由氢气汇流排供氢系统、---汇流排供---系统、---蒸发器加热器、氢气控制装置、氢气干燥器氢气去湿装置、循环风机、发电机绝缘过热监测装置发电机工况监测装置、发电机漏液检测装置和发电机漏氢检测装置气体巡回检测仪组成。氢气系统的功能是利用干燥的氢气对发电机转子绕组和定子铁芯进行冷却；在机组起动前或停止运行后利用中间介质置换机内气体。

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