北京科仪真空技术有限公司简称：科仪出资成立，包膜式---测漏设备，创建于2015年，注册资金500万。科仪产品主要有：薄膜制备设备，真空冶金设备，检漏设备，真空系统等非标真空产品；系列分子泵，离子泵，钛升华泵，深冷捕集泵等高真空获得设备；系列干式涡旋泵，干式爪泵，干式螺杆泵等无油真空获得设备；真空环境模拟设备等---产品。

如何选择检漏方式，与检测对象的工作环境有很大关系，尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压，则用正压模式，如检测对象工作时内部处于负压，则用真空模式。hlt260型---质谱检漏仪具有嗅探和抽真空2种检漏模式，即正压模式和负压模式。详细检漏方法与测量工作过程如下：

在抽真空方式下，待检漏的器件通过测试端口与检漏仪相连，

待测器件被检漏仪内部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空如果待测器件容积较大，则需额外的泵组一起协同作业以提高xiao率。只需测量待测器件外部---通过器壁的漏孔进入器件内部的---的多少便可以判断漏率的大小。如果需要得到精que的漏率数值，则必须等待整个测量系统的真空达到稳态，

真空设备检漏

一个真空系统，经相当长时间抽气之后，仍然达不到预期的真空度，可能的原因有:抽气情况---，即抽气系统本身的问题。放气，即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气，即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。至于漏气是检漏技术所要解决的问题，即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。确定漏气率。找出泄漏部位，以便修补堵漏。

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氢气检漏法的基本原理

氢气检漏法是一种用5%的氢气和95%的氮气的混合气作为示踪气体进行检漏，称作氢氮混合气检漏法，或氢气检漏法。5%氢气与95%氮气的混合气体是不可燃的(iso10156)，---性和腐蚀性，也不会对设备和环境产生不利影响。氢气作为检漏使用的示踪元素，有着很多的优点。

氢的分子量与---气相近，是所有化学元素中分子量较轻的元素，有---的扩散性，逃逸性很强，吸附及粘滞性很低。由于氢分子移动速度要高于其他分子，因此使用安全的低浓度氢气作为示踪气体，可以有着更快的响应速度和---的检漏精度。基本工作原理是使用专门开发的氢气传感器，它只对氢气有响应信号，而对其他气体没有响应，属于唯1性检漏性检漏方法。一旦出现信号响应，说明有氢气通过漏孔进入被检件中，从而指示漏孔的位置与大小。同时，由于氢气在一般环境中的含量浓度都非常低，所以不会因本底污染而导致---警。

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